X線顕微鏡、X線を用いて小さな物体の拡大画像を作成する装置。 点光源からのX線の放射を利用して、蛍光体スクリーン上に拡大した画像を映し出すのが基本的な装置である。 X線顕微鏡は、1951年にイギリスの物理学者エリス・コスレットとウィリアム・ニクソンが成功させた。 岩石、金属、骨、歯、鉱石、木材などの隠れた構造を調べることができるとして、光学顕微鏡に匹敵する解像度を持つ最初の装置であった。 その後、数十年の休止期間を経て、再びX線顕微鏡の能力に関心が持たれている。 特に、波長が1ナノメートル（10億分の1メートル）の軟X線（エネルギー100〜1000電子ボルト、緑色光は約500ナノメートル）に関心が集まっている。 X線は、生物、高分子、土壌、地質など、さまざまな分野で利用されている。 X線顕微鏡は、最高の光学顕微鏡よりも高い解像度が得られるという事実が、この分野の研究に拍車をかけている

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